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              Calculation using SRIM-2006 
              SRIM version ---> SRIM-2008.04
              Calc. date   ---> October 04, 2012 
 ==================================================================

 Disk File Name = SRIM Outputs\Oxygen in Silicon

 Ion = Oxygen [8] , Mass = 15.995 amu

 Target Density =  2.3212E+00 g/cm3 = 4.9770E+22 atoms/cm3
 ======= Target  Composition ========
    Atom   Atom   Atomic    Mass     
    Name   Numb   Percent   Percent  
    ----   ----   -------   -------  
     Si     14    100.00    100.00   
 ====================================
 Bragg Correction = -7.20%
 Stopping Units =  MeV / (mg/cm2) 
 See bottom of Table for other Stopping units 

   Ion        dE/dx      dE/dx     Projected  Longitudinal   Lateral
  Energy      Elec.      Nuclear     Range     Straggling   Straggling
-----------  ---------- ---------- ----------  ----------  ----------
  10.00 keV   3.898E-01  7.384E-01     271 A       155 A       113 A   
  11.00 keV   4.088E-01  7.316E-01     296 A       167 A       121 A   
  12.00 keV   4.270E-01  7.244E-01     320 A       178 A       129 A   
  13.00 keV   4.444E-01  7.169E-01     345 A       190 A       137 A   
  14.00 keV   4.612E-01  7.092E-01     369 A       201 A       146 A   
  15.00 keV   4.774E-01  7.014E-01     393 A       212 A       154 A   
  16.00 keV   4.930E-01  6.936E-01     418 A       222 A       162 A   
  17.00 keV   5.082E-01  6.859E-01     443 A       233 A       169 A   
  18.00 keV   5.230E-01  6.782E-01     467 A       243 A       177 A   
  20.00 keV   5.512E-01  6.631E-01     516 A       264 A       193 A   
  22.50 keV   5.847E-01  6.449E-01     578 A       288 A       212 A   
  25.00 keV   6.163E-01  6.276E-01     640 A       312 A       231 A   
  27.50 keV   6.464E-01  6.111E-01     702 A       336 A       249 A   
  30.00 keV   6.752E-01  5.955E-01     763 A       358 A       267 A   
  32.50 keV   7.069E-01  5.807E-01     825 A       380 A       285 A   
  35.00 keV   7.505E-01  5.667E-01     886 A       401 A       303 A   
  37.50 keV   7.886E-01  5.534E-01     946 A       421 A       320 A   
  40.00 keV   8.220E-01  5.408E-01    1006 A       440 A       337 A   
  45.00 keV   8.775E-01  5.175E-01    1125 A       477 A       370 A   
  50.00 keV   9.222E-01  4.965E-01    1243 A       512 A       402 A   
  55.00 keV   9.601E-01  4.773E-01    1360 A       546 A       432 A   
  60.00 keV   9.939E-01  4.598E-01    1478 A       578 A       462 A   
  65.00 keV   1.025E+00  4.437E-01    1595 A       609 A       491 A   
  70.00 keV   1.054E+00  4.289E-01    1713 A       639 A       519 A   
  80.00 keV   1.109E+00  4.026E-01    1947 A       697 A       574 A   
  90.00 keV   1.158E+00  3.798E-01    2180 A       751 A       627 A   
 100.00 keV   1.205E+00  3.598E-01    2412 A       801 A       678 A   
 110.00 keV   1.248E+00  3.422E-01    2643 A       849 A       727 A   
 120.00 keV   1.289E+00  3.264E-01    2871 A       894 A       774 A   
 130.00 keV   1.329E+00  3.123E-01    3098 A       937 A       820 A   
 140.00 keV   1.368E+00  2.996E-01    3324 A       978 A       865 A   
 150.00 keV   1.406E+00  2.879E-01    3546 A      1016 A       908 A   
 160.00 keV   1.443E+00  2.773E-01    3767 A      1053 A       950 A   
 170.00 keV   1.481E+00  2.676E-01    3986 A      1088 A       991 A   
 180.00 keV   1.518E+00  2.586E-01    4202 A      1122 A      1030 A   
 200.00 keV   1.592E+00  2.426E-01    4626 A      1185 A      1105 A   
 225.00 keV   1.685E+00  2.256E-01    5143 A      1256 A      1194 A   
 250.00 keV   1.778E+00  2.111E-01    5643 A      1320 A      1275 A   
 275.00 keV   1.872E+00  1.985E-01    6127 A      1377 A      1352 A   
 300.00 keV   1.967E+00  1.876E-01    6594 A      1429 A      1422 A   
 325.00 keV   2.062E+00  1.780E-01    7047 A      1476 A      1488 A   
 350.00 keV   2.157E+00  1.694E-01    7484 A      1519 A      1550 A   
 375.00 keV   2.252E+00  1.617E-01    7907 A      1557 A      1607 A   
 400.00 keV   2.347E+00  1.548E-01    8317 A      1593 A      1661 A   
 450.00 keV   2.535E+00  1.427E-01    9099 A      1657 A      1759 A   
 500.00 keV   2.720E+00  1.326E-01    9836 A      1711 A      1846 A   
 550.00 keV   2.901E+00  1.240E-01    1.05 um     1758 A      1923 A   
 600.00 keV   3.077E+00  1.166E-01    1.12 um     1798 A      1992 A   
 650.00 keV   3.249E+00  1.101E-01    1.18 um     1834 A      2055 A   
 700.00 keV   3.415E+00  1.043E-01    1.24 um     1866 A      2111 A   
 800.00 keV   3.728E+00  9.465E-02    1.36 um     1922 A      2211 A   
 900.00 keV   4.018E+00  8.677E-02    1.46 um     1969 A      2295 A   
   1.00 MeV   4.284E+00  8.022E-02    1.56 um     2008 A      2369 A   
   1.10 MeV   4.527E+00  7.468E-02    1.65 um     2041 A      2433 A   
   1.20 MeV   4.748E+00  6.992E-02    1.74 um     2070 A      2490 A   
   1.30 MeV   4.949E+00  6.579E-02    1.83 um     2096 A      2542 A   
   1.40 MeV   5.131E+00  6.216E-02    1.91 um     2119 A      2589 A   
   1.50 MeV   5.297E+00  5.895E-02    1.99 um     2139 A      2632 A   
   1.60 MeV   5.446E+00  5.608E-02    2.07 um     2158 A      2671 A   
   1.70 MeV   5.581E+00  5.351E-02    2.15 um     2176 A      2708 A   
   1.80 MeV   5.704E+00  5.118E-02    2.22 um     2192 A      2742 A   
   2.00 MeV   5.914E+00  4.713E-02    2.37 um     2226 A      2805 A   
   2.25 MeV   6.124E+00  4.296E-02    2.54 um     2267 A      2875 A   
   2.50 MeV   6.288E+00  3.952E-02    2.71 um     2303 A      2937 A   
   2.75 MeV   6.415E+00  3.663E-02    2.88 um     2336 A      2994 A   
   3.00 MeV   6.515E+00  3.417E-02    3.05 um     2366 A      3046 A   
   3.25 MeV   6.593E+00  3.204E-02    3.21 um     2395 A      3095 A   
   3.50 MeV   6.653E+00  3.019E-02    3.37 um     2422 A      3140 A   
   3.75 MeV   6.701E+00  2.855E-02    3.53 um     2447 A      3183 A   
   4.00 MeV   6.738E+00  2.709E-02    3.69 um     2472 A      3224 A   
   4.50 MeV   6.790E+00  2.461E-02    4.00 um     2539 A      3301 A   
   5.00 MeV   6.822E+00  2.258E-02    4.32 um     2601 A      3373 A   
   5.50 MeV   6.840E+00  2.088E-02    4.63 um     2661 A      3440 A   
   6.00 MeV   6.849E+00  1.944E-02    4.94 um     2719 A      3504 A   
   6.50 MeV   6.851E+00  1.819E-02    5.26 um     2775 A      3566 A   
   7.00 MeV   6.849E+00  1.711E-02    5.57 um     2829 A      3625 A   
   8.00 MeV   6.832E+00  1.531E-02    6.19 um     2999 A      3737 A   
   9.00 MeV   6.804E+00  1.387E-02    6.82 um     3160 A      3844 A   
  10.00 MeV   6.766E+00  1.270E-02    7.46 um     3313 A      3946 A   
  11.00 MeV   6.721E+00  1.172E-02    8.09 um     3461 A      4045 A   
  12.00 MeV   6.672E+00  1.089E-02    8.73 um     3605 A      4141 A   
  13.00 MeV   6.619E+00  1.018E-02    9.38 um     3744 A      4236 A   
  14.00 MeV   6.565E+00  9.558E-03   10.03 um     3880 A      4328 A   
  15.00 MeV   6.510E+00  9.014E-03   10.69 um     4014 A      4419 A   
  16.00 MeV   6.454E+00  8.533E-03   11.35 um     4145 A      4510 A   
  17.00 MeV   6.398E+00  8.103E-03   12.02 um     4274 A      4599 A   
  18.00 MeV   6.341E+00  7.717E-03   12.70 um     4402 A      4687 A   
  20.00 MeV   6.230E+00  7.052E-03   14.06 um     4849 A      4863 A   
  22.50 MeV   6.092E+00  6.375E-03   15.81 um     5487 A      5081 A   
  25.00 MeV   5.956E+00  5.822E-03   17.59 um     6083 A      5297 A   
  27.50 MeV   5.824E+00  5.363E-03   19.42 um     6649 A      5514 A   
  30.00 MeV   5.695E+00  4.975E-03   21.29 um     7194 A      5732 A   
  32.50 MeV   5.571E+00  4.642E-03   23.20 um     7723 A      5950 A   
  35.00 MeV   5.440E+00  4.353E-03   25.15 um     8240 A      6171 A   
  37.50 MeV   5.284E+00  4.100E-03   27.16 um     8753 A      6394 A   
  40.00 MeV   5.139E+00  3.876E-03   29.22 um     9264 A      6621 A   
  45.00 MeV   4.890E+00  3.499E-03   33.52 um     1.11 um     7087 A   
  50.00 MeV   4.660E+00  3.191E-03   38.02 um     1.29 um     7570 A   
  55.00 MeV   4.447E+00  2.936E-03   42.75 um     1.46 um     8070 A   
  60.00 MeV   4.250E+00  2.721E-03   47.70 um     1.63 um     8589 A   
  65.00 MeV   4.067E+00  2.536E-03   52.88 um     1.79 um     9128 A   
  70.00 MeV   3.898E+00  2.376E-03   58.29 um     1.95 um     9687 A   
  80.00 MeV   3.595E+00  2.113E-03   69.79 um     2.55 um     1.09 um  
  90.00 MeV   3.334E+00  1.905E-03   82.23 um     3.11 um     1.21 um  
 100.00 MeV   3.107E+00  1.735E-03   95.61 um     3.65 um     1.35 um  
 110.00 MeV   2.909E+00  1.595E-03  109.94 um     4.19 um     1.49 um  
 120.00 MeV   2.735E+00  1.477E-03  125.20 um     4.73 um     1.65 um  
 130.00 MeV   2.582E+00  1.376E-03  141.41 um     5.27 um     1.81 um  
 140.00 MeV   2.446E+00  1.288E-03  158.55 um     5.81 um     1.98 um  
 150.00 MeV   2.325E+00  1.211E-03  176.61 um     6.36 um     2.16 um  
 160.00 MeV   2.216E+00  1.144E-03  195.58 um     6.92 um     2.35 um  
 170.00 MeV   2.118E+00  1.084E-03  215.45 um     7.49 um     2.55 um  
 180.00 MeV   2.030E+00  1.030E-03  236.22 um     8.06 um     2.75 um  
 200.00 MeV   1.877E+00  9.374E-04  280.34 um    10.23 um     3.19 um  
 225.00 MeV   1.720E+00  8.438E-04  340.27 um    13.32 um     3.78 um  
 250.00 MeV   1.591E+00  7.679E-04  405.36 um    16.23 um     4.42 um  
 275.00 MeV   1.483E+00  7.050E-04  475.47 um    19.07 um     5.10 um  
 300.00 MeV   1.390E+00  6.521E-04  550.48 um    21.86 um     5.83 um  
 325.00 MeV   1.309E+00  6.069E-04  630.33 um    24.66 um     6.60 um  
 350.00 MeV   1.236E+00  5.678E-04  714.98 um    27.46 um     7.41 um  
 375.00 MeV   1.171E+00  5.336E-04  804.47 um    30.29 um     8.27 um  
 400.00 MeV   1.111E+00  5.035E-04  898.88 um    33.16 um     9.16 um  
 450.00 MeV   1.003E+00  4.528E-04    1.10 mm    44.07 um    11.10 um  
 500.00 MeV   9.138E-01  4.118E-04    1.33 mm    54.48 um    13.22 um  
 550.00 MeV   8.476E-01  3.778E-04    1.57 mm    64.67 um    15.52 um  
 600.00 MeV   7.915E-01  3.492E-04    1.84 mm    74.73 um    17.99 um  
 650.00 MeV   7.432E-01  3.248E-04    2.12 mm    84.77 um    20.61 um  
 700.00 MeV   7.012E-01  3.038E-04    2.41 mm    94.84 um    23.39 um  
 800.00 MeV   6.316E-01  2.691E-04    3.06 mm   132.12 um    29.41 um  
 900.00 MeV   5.763E-01  2.418E-04    3.78 mm   166.60 um    36.00 um  
   1.00 GeV   5.312E-01  2.198E-04    4.55 mm   200.03 um    43.15 um  
   1.10 GeV   4.937E-01  2.015E-04    5.40 mm   233.09 um    50.84 um  
   1.20 GeV   4.620E-01  1.862E-04    6.30 mm   266.09 um    59.03 um  
   1.30 GeV   4.348E-01  1.731E-04    7.26 mm   299.21 um    67.72 um  
   1.40 GeV   4.113E-01  1.618E-04    8.28 mm   332.52 um    76.88 um  
   1.50 GeV   3.906E-01  1.519E-04    9.35 mm   366.07 um    86.50 um  
   1.60 GeV   3.725E-01  1.432E-04   10.48 mm   399.88 um    96.57 um  
   1.70 GeV   3.563E-01  1.355E-04   11.66 mm   433.97 um   107.06 um  
   1.80 GeV   3.418E-01  1.286E-04   12.90 mm   468.31 um   117.97 um  
   2.00 GeV   3.169E-01  1.168E-04   15.52 mm   598.06 um   140.99 um  
   2.25 GeV   2.917E-01  1.049E-04   19.06 mm   781.47 um   171.86 um  
   2.50 GeV   2.713E-01  9.525E-05   22.89 mm   952.04 um   204.91 um  
   2.75 GeV   2.545E-01  8.728E-05   26.99 mm     1.12 mm   239.95 um  
   3.00 GeV   2.403E-01  8.059E-05   31.34 mm     1.28 mm   276.86 um  
   3.25 GeV   2.283E-01  7.488E-05   35.94 mm     1.43 mm   315.48 um  
   3.50 GeV   2.179E-01  6.996E-05   40.77 mm     1.59 mm   355.69 um  
   3.75 GeV   2.089E-01  6.566E-05   45.81 mm     1.74 mm   397.39 um  
   4.00 GeV   2.009E-01  6.188E-05   51.07 mm     1.90 mm   440.45 um  
   4.50 GeV   1.877E-01  5.553E-05   62.16 mm     2.47 mm   530.33 um  
   5.00 GeV   1.770E-01  5.040E-05   73.98 mm     2.98 mm   624.60 um  
   5.50 GeV   1.683E-01  4.616E-05   86.46 mm     3.47 mm   722.65 um  
   6.00 GeV   1.610E-01  4.261E-05   99.55 mm     3.93 mm   823.94 um  
   6.50 GeV   1.549E-01  3.957E-05  113.18 mm     4.39 mm   928.00 um  
   7.00 GeV   1.497E-01  3.696E-05  127.32 mm     4.82 mm     1.03 mm  
   8.00 GeV   1.413E-01  3.267E-05  156.95 mm     6.40 mm     1.25 mm  
   9.00 GeV   1.349E-01  2.930E-05  188.16 mm     7.78 mm     1.48 mm  
  10.00 GeV   1.298E-01  2.658E-05  220.72 mm     9.04 mm     1.71 mm  
  11.00 GeV   1.257E-01  2.434E-05  254.44 mm    10.23 mm     1.94 mm  
  12.00 GeV   1.225E-01  2.246E-05  289.15 mm    11.35 mm     2.17 mm  
  13.00 GeV   1.198E-01  2.085E-05  324.72 mm    12.42 mm     2.40 mm  
  14.00 GeV   1.175E-01  1.947E-05  361.04 mm    13.45 mm     2.63 mm  
  15.00 GeV   1.156E-01  1.826E-05  397.99 mm    14.44 mm     2.87 mm  
  16.00 GeV   1.140E-01  1.720E-05  435.51 mm    15.39 mm     3.10 mm  
-----------------------------------------------------------
 Multiply Stopping by        for Stopping Units
 -------------------        ------------------
  2.3211E+01                 eV / Angstrom 
  2.3211E+02                keV / micron   
  2.3211E+02                MeV / mm       
  1.0000E+00                keV / (ug/cm2) 
  1.0000E+00                MeV / (mg/cm2) 
  1.0000E+03                keV / (mg/cm2) 
  4.6637E+01                 eV / (1E15 atoms/cm2)
  4.2475E-01                L.S.S. reduced units
 ==================================================================
 (C) 1984,1989,1992,1998,2008 by J.P. Biersack and J.F. Ziegler
